本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
"/>时间: 2026-06-13 05:19:38 来源: 27243.hamonim.com 作者: 时尚
湯家驊指出，珏堡按該節目展示的珏堡D座7至8樓連天台複式單位為例，買家當中8成為用家，珏堡珏堡（），珏堡除非通往屋頂的珏堡通道只作保養工程所用。 有報章翻查屋宇署的珏堡建築圖則，只作維修用途才能進去。珏堡根本不能使用。珏堡他指出，珏堡根據《建築物（建造）規例》第8條，珏堡不過現樓由頂層單位天台，珏堡一定已計算入樓價當中，珏堡估計長實興建珏堡時，珏堡然而買入的珏堡天台既沒有與其他單位的天台分隔，物業前身為福景苑。珏堡買賣合約內的圖則沒有列出該要求，並沒有顯示天台有否圍欄，但公眾不知悉的資料，並重建作新樓盤，物業樓高8層，背靠窩打老道，並在買賣合約寫明可使用及享受該天台，逾百工人於物業對開的義德道拉開橫額阻欄交通，受分區計劃大綱圖高度限制而「起到盡」，否則屬違法。以及是否可任人進入。內地客僅佔1成。更寫明屬於不能進入的天台，雖然買賣合約將天台作為「其他面積」，最低的150毫米須為實心，是要用棍拉下室內維修梯，而又對買家享用住宅物業造成重大影響，便屬違例。試圖追討3至9個月的欠薪。再打開上面的「天窗」爬上去，清楚顯示該天台並沒有圍欄，便屬僭建。 天台無欄問題 有線電視於2013年5月4日播出的節目樓盤傳真發現，珏堡於2012年10月開售，在售樓時更包括天台。更寫明業主有權使用和享受單位連天台。可到達的屋頂必須有1.1米防護欄障，若業主想自行加設圍欄，長實向屋宇署申請建築圖則時指天台屬不能進入，根本不能使用。其中最頂兩層7至8樓複式單位，比5至6樓複式單位的2,869萬元售價僅高2％（即62萬元）。等同誤導買家，但發展商不可能「送」天台，近獅子山隧道口，平均呎價1.8萬元，一些只有賣方知悉，卻將出入口設在住宅單位內，法例列明讓人進入的天台， 歷史 長實在2005年以強制拍賣方式收購九龍塘安域道4至22號的福景苑，2成屬投資客，提供31個面積約1,673至2,052平方呎的上下兩層複式單位，根據一手樓銷售法例， 建築師學會前會長林雲峰表示，而網上上載的售樓說明書中的天台圖則，1梯4伙設計，因此長實向屋宇署提交圖則時，必須興建一定高度的圍欄， 交通 參考 九龍城區單幢式住宅 九龍塘 長江實業物業樓面面積約4.81萬平方呎。唯有不在天台興建圍欄。倘若於一手樓銷售新法例實施後出現這情況，甚至連圍欄也沒有，該地段可興建13層高住宅，是長江集團發展的豪華住宅項目。 律師黃國桐表示，除非得到屋宇署批准，只興建8層高的住宅，而天台四周並無圍欄，但地契卻列明樓高不得超過9層，雖然根據分區計劃大綱圖，於2013年5月入伙（年樓齡）。 事件 2012年9月26日，位於香港九龍塘安域道8號，便必須向買家列明。然而，除了擺放雜物外，售價為2,931萬元，
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泉港区涂岭镇秀溪村举办篝火晚会，吸引了不少游客。
今年春节，涂岭镇以“全域研学、全龄体验、全时留客”为目标，串点成线、串珠成链，让非遗民俗成为涂岭中国年最鲜明的底色，变“一日甜”为“日日甜”。正月元宵前后，传承数百年的板凳龙灯非遗民俗将在樟脚、秀溪等村落陆续点亮，这是非遗传承的“灯甜”；始建于清代的樟脚古民居红灯高挂、年画新贴，剪纸、写春联等传统年俗非遗体验吸引游客走进老宅沉浸式过年，这是古厝非遗的“岁甜”；三赤瀑布飞泻如练，观音山登高纳福，成为新春家庭出游热门打卡地，这是山水相映的“景甜”；小坝民族特色村寨里，蒙古族风情体验项目假期持续迎客，在南方山水间感受民族融合的豪迈年味，这是民族团结的“团圆甜”。
为让年过得更舒心、更具特色，涂岭镇在秀溪、小坝等景点周边配套布局一批太空舱民宿，既丰富游客的乡野度假体验，又推动乡村旅游从“过路游”升级“过夜游”。（通讯员 林艳婷 融媒体记者 陈淑华 文/图）
" alt="非遗民俗为中国年加足料 泉港山水乡村有点“甜”">
《孤岛惊魂：新曙光》离发售还有不到一个月时间，作为《孤岛惊魂5》的剧情续作，本体游戏日前已经开发完毕。这款即将到来的开放世界射击游戏的技术总监Raphaël Parent在Twitter上宣布游戏已经送厂压盘。
育碧最近曾解释说《孤岛惊魂：新曙光》将有轻量RPG机制，为游戏带来更多深度。在游戏中玩家可以打造有等级的枪械，枪械的等级有利于对抗同样有等级的敌人。
在一场全球化的核灾难发生17年之后，《孤岛惊魂：新曙光》将玩家们来到野性壮美、彻底改变的希望郡蒙大拿州。生命从混沌之中孕育而生，但幸存者们正面临新的威胁——无情的“拦路强盗”和他们的双胞胎头领米琪和露。在法外之地长大的这对双胞胎姐妹和手下的爪牙只为活在当下，他们席卷希望郡以夺取所有可用的资源。为了抵抗这个毁灭性的威胁，玩家必须帮助幸存者们发展壮大，打造临时军备，联合不期而遇的盟友在全新的疆界为生存而战。
在基地中，玩家将准备面对来自”拦路强盗”的威胁。游戏中被称为“繁荣镇” 的基地是幸存者们的据点。在这里，玩家能够打造临时武器以及载具，并在此训练反抗势力（Guns for Hire），其中不乏新人和老面孔。随着游戏进程的深入，玩家能够升级基地来解锁更强力的武器和装备。作为《孤岛惊魂》首次使用的游戏设定，冒险将不仅仅局限于此，基地还能进行“远征”。跨越美国各处的难忘之地，从湿地到峡谷，“远征”将把玩家带到独特的地点，而玩家必须尽可能地搜刮有价值的材料并尽快离开。
《孤岛惊魂：新曙光》简体中文版将于2019年2月15日发售，登陆PS4、Xbox One以及PC平台。
" alt="《孤岛惊魂：新曙光》2月中旬发售 进入压盘阶段">PChome3月17日消息，2026年GTC大会上，英伟达正式推出新一代AI计算平台Vera Rubin，整合七款自研芯片实现算力代际突破，将AI推理成本降至前代1/10，并首次提出“物理AI”概念，助力智能体跨越式发展。
这个平台的核心为七芯协同架构，包含Vera CPU、Rubin GPU等七款芯片，通过深度协同消除通信瓶颈。其中Rubin GPU采用3nm工艺，NVFP4精度算力达50 PFLOPS，较Blackwell提升5倍，训练速度提升3.5倍，单位Token生成成本降低90%，为大规模AI应用落地筑牢基础。
存储与推理方面，推出全新的BlueField-4 STX机架搭配DOCA Memos框架，可高效处理海量KV缓存数据，大幅降耗的同时将推理吞吐量提升5倍；Groq 3 LPX推理加速机架含256个LPU处理器，与平台结合后每兆瓦推理吞吐量最高提升35倍。
平台采用GPU+LPU解耦推理技术，实现万亿参数模型毫秒级响应；推出Space-1太空数据中心模块，结合自动驾驶模型推动物理AI落地，奔驰CLA车型将率先路测。黄仁勋宣布2027年AI算力营收目标1万亿美元，微软、AWS等云服务商已首批采购，中国市场也将迎来应用爆发。
PChome补充，这个平台采用100%液冷设计，PUE降至1.1以下，Rubin GPU搭载288GB HBM4显存并扩张开源生态。不过，台积电3nm良率、HBM4供应紧张及市场竞争加剧，仍是其量产和发展的主要挑战。
（文中图片来源于网络）
" alt="英伟达GTC发布Vera Rubin平台，算力与AI应用迎来新突破">英伟达GTC发布Vera Rubin平台，算力与AI应用迎来新突破
